点击图片查看原图
③前级泵抽气时间过长, 使油返回到真空室后又被吸附到冷板上。
④制冷温度达不到20K以下: a1冷冻机制冷能力劣化; b1压缩机压缩能力降低(很少发生) ;c1He气压力过低; d1He气充填压力过高。
⑤若仍然不行,则可能是冷冻机的相位角有偏差。这时,需按照以下步骤重新进行调整(参照图4): a1首先, 使活塞连杆处于顶部死区ê 的位置(偏心轮最高点) ; b1然后, 把偏心轮逆时针方向旋转30°(é 的位置) ,使低压阀闭合,高压阀处于闭合/开启临界状态。此时, 臂式阀杆处于悬空状态, 即, 没有接触阀芯。用手伸进视镜窗孔中转动二个大轴承, 应感到很轻; c1若仍然感到很重, 则可拧掉二侧的堵头, 通过调整臂式阀杆的调整螺钉来加以修正。使低压阀闭合, 高压阀处于闭合?开启临界状态(靠近高压管的一侧为高压阀。即, 第二个臂杆)。
4.2低温泵动作不良可能产生的原因,
3N6冷凝泵检查方法:
3N6冷凝泵 a1确认整个系统漏气量, 比如, 每小时、每天漏率。然后再将压缩机与冷凝泵分开, 先看压缩机泄漏是多少, 然后与整个系统漏率相比, 确认是哪部分漏; b1用水泡法或Snoop液体检查软管是否漏气;c1若前二项检查没有问题, 则是冷凝泵泄漏。
5.3N6冷凝泵冷凝泵的交换
①3N6冷凝泵首先, 使泵恢复常温。
②3N6冷凝泵排出毒气, 在前级泵抽的过程中用N2气冲洗。
③3N6冷凝泵3N6冷凝泵在冷凝泵与大气连通后, 断开压缩机与冷凝泵连接的电、气接头。
注: a1记住He高、低压管的相互位置。b1在压缩机运转情况下换泵时, 要先断高压后断低压。否则, 高压不能迅速释放, 马达电源会自动切断, 并使真空安全阀打开
冷凝泵轴承过热原因
1、泵的油脂没有或不够；
方法：填加润油脂至标准要求。
2、泵与电机轴不同心；
方法：调正，对准泵与电机同心。
3、泵轴承损坏；
方法：更换新轴承。
4泵的安装
1、开箱后检查泵和电机，如果证实没有任何因装、卸和运输过程中造成的损坏和紧固连接件松动，泵的进出口封盖完好，无污物等进入泵内，则可直接送到使用现场去安装。
2、安装泵的基础平面应用水平仪找平，待基础水泥凝固后，将泵安装在基础上，并用水平仪校正底座，应严格检查泵轴和电机轴的同心度，联轴器外圆偏移允差0.1毫米，两联轴器端面间隙一周上最大和最小的间隙差别不得超过0.3毫米。
3、泵的吸入管路和压出管路应设有支撑，不允许管路的重量直接由泵来承受，检查管路，仪表等接口处密封是否良好。[2]
