TCP-600, TCP-5000
PFEIFFER / BALZERSTURBO PUMP ConTROLLERS TCP-015
PFEIFFER / BALZERSTURBO PUMP ConTROLLERS TCP-40
PFEIFFER / BALZERSTURBO PUMP ConTROLLERS TCP-120
PFEIFFER / BALZERSTURBO PUMP ConTROLLERS TCP-121
PFEIFFER / BALZERSTURBO PUMP ConTROLLERS TCP-300
PFEIFFER / BALZERSTURBO PUMP ConTROLLERS TCP-380
PFEIFFER / BALZERSTURBO PUMP ConTROLLERS TCP-310
PFEIFFER / BALZERSTURBO PUMP ConTROLLERS TCP-600
泵的排气压力与进气压力之比称为压缩比。压缩比除与泵的级数和转速有关外,还与气体种类有关。分子量大的气体有高的压缩比。对氮(或空气)的压缩比为108~109;对氢为102~104;对分子量大的气体如油蒸气则大于1010。泵的极限压力为10-9帕,工作压力范围为10-1~10-8帕,抽气速率为几十到几千升每秒(1升=10-3米3)。涡轮分子泵必须在分子流状态(气体分子的平均自由程远大于导管截面最大尺寸的流态)下工作才能显示出它的优越性,因此要求配有工作压力为1~10-2帕的前级真空泵。分子泵本身由转速为10000~60000转/分的中频电动机直联驱动。