涡轮分子泵:
利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子,使气体产生定向流动而抽气的真空泵。涡轮分子泵的优点是启动快,能抗各种射线的照射,耐大气冲击,无气体存储和解吸效应,无油蒸气污染或污染很少,能获得清洁的超高真空。涡轮分子泵广泛用于高能加速器、可控热核反应装置、重粒子加速器和高级电子器件制造等方面。
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分子泵油量 4.3.1.1分子泵油量应处于油标上下限之限之间,不得低于油标下限,以保证轴承的良 好润滑,油标为红色标志线。 4.3.1.2分子泵润滑油采用不易裂变的低饱和蒸汽压的专用分子泵润滑油。润滑油应洁 净,严禁污物,杂质和尘埃落入。必要时应对润滑油进行过滤。 4.3.1.3更换润滑油时,油池应清洗干净:第一次使用时,泵工作1000小时后,即应更 换;正常工作后。每工作4000小时即应更换,即使工作时间不足4000小时,一年内至少更换一次。如果泵经常烘烤或大负载工作或抽除侵蚀性气体,润滑油充注及更新时间间隔应缩短。