徕卡金相显微镜特点:
尺
12 X 12大样品台,可实现12寸晶圆的直接观察
内置手动/电动调焦系统
独有的0.7X宏观物镜,具有晶圆检查功能
可提供全自动明场、暗场、偏光、微分干涉、斜照明等观察方式
机身内置LED透、反射照明光源,智能光强变化的控制照明方式
可选配UV光源,提高分辨率至亚微米结构,UV由大功率的LED产生,具有UV和OUV功能
可自动记忆不同物镜与观察方式下的光强,光阑及聚光镜的组合,自动恢复到位,操作简单快速
光强,光阑,观察方式和聚光镜调节除了按键控制外,还可由计算机控制
可连接晶圆搬送机进行连续工作
可配接摄像头观察和采集图像,并提供专业分析软件
可配接高温热台,荧光光源,阴极发光仪,光度计等
适用于所有观察方法的 LED 照明系统,LED 不会产生热量,以此保护样本。色温稳定,确保得出真实的可再现分析结果
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