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3摩擦电自驱动微器件与微系统

    各种微纳制造方法有效提高了摩擦纳米发电机的输出能，这为研制高能的摩擦电器件提供了基础，推动了其在微机械传感器、执行器和白驱动微系统中的应用基础研究。

3.1摩擦电主动式微机械传感器

    摩擦纳米发电机可以在机械触发下直接产生电信号，用作主动式传感器，不需要外部电源来驱动。其中，开路电压适用于对机械运动状态的静态测量，短路电流适用于对机械运动速率的动态测量。这种微机械传感器具有多功能、主动式的传感特，在触屏和电了皮肤等领域具有潜在应用。

    为基于摩擦纳米发电机的主动式三轴加速度计，可利用加速度与输出开路电压信号的线关系，实现加速度的精准测量。其中，单个方向的主动式加速度计是由外壳结构和内部弹簧-质量块一阻尼结构组成，质量块与内壁界面滑动摩擦产生的电压可用来表征器件所受到的轴向加速度，测试范围为13 m/s2到40 m/s2，灵敏度为0.289V } s2/m。三个主动式加速度计相互正交，可以组合成一个三维加速度计，通过三个轴向的输出，可以测量待删除信息下降。通过将其应用于汽车防碰撞系统，该加速度计可以有效的测量汽车高速碰撞时的加速度，在高过载冲击和汽车安全系统方面具有潜在的应用前景。