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等离子体反应区富含极高的物质，如高能电子、离子、自由基和激发态分子等，废气中的污染物质可与这些具有较高能量的物质发生反应，使污染物质在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到讲解污染物的目的。与传统的电晕放电形势产生的低温等离子技术相比较，等离子体技术放电密度是电晕放电的1500倍，这就是传统低温等离子体技术治理工业废气99%以失败而告终的原因。
1、利用高能高臭氧紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，即活氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。UV＋O2→O-+O＊(活氧)O+O2→O3(臭氧),众所周知臭氧对有机物具有极强的氧化作用，对有机气体及其它异味有立竿见影的效果。有机气体利用排风设备输入到本净化设备后，运用高能紫外线光束及臭氧对有机（异味）气体进行协同分解氧化反应，使有机气体物质其降解转化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通过排风管道排出室外。
2、催化剂（二氧化钛）在受到紫外线光照射时生成化学活泼很强的超氧化物阴离子自由基和氢氧自由基，攻击有机物，达到降解有机物的作用。二氧化钛属于非溶出型材料，在彻底分解有机污染物和杀灭菌的同时，自身不分解、不溶出，光催化作用持久，并具有持久的杀菌、降解污染物效果。
1、高效降解有机化学物：能高效去除挥发有机物（VOC）、无机物、硫化氢、氨气、硫醇类等主要污染物，以及各种恶臭味，脱臭效率可达99.9%以上，脱臭效果大大超过1993年颁布的恶臭污染物排放标准（GB14554-93）．
2、无需添加任何物质：只需要设置相应的排风管道和排风动力，使气体通过本设备进行脱臭分解净化，无需添加任何物质参与化学反应。
3、适应强：可适应高浓度，大气量，不同有机化学气体物质的净化处理，可每天
24小时连续工作，运行稳定可靠。
4、运行成本低：本设备无任何机械动作，无噪音，无需专人管理和日常维护，只需作
定期检查，本设备能耗低，（每处理1000立方米/小时，仅耗电约0.1度电能），设备风阻极
低＜30pa,可节约大量排风动力能耗。
5、无需预处理：废气无需进行特殊的预处理，如加温、加湿等,设备工作环境温度在
摄氏-30℃～95℃之间，湿度在40%～98%之间均可正常工作。
6、设备占地面积小，自重轻：适合于布置紧凑、场地狭小等特殊条件。
