表面轮廓仪

尼康白光干涉扫描测量技术可以实现1pm超高纵向分辨率
采用单一测量模式快速，准确的滍从亚纳米到毫米的高度形貌。
可以充分地支持高精度加工表面和材料科学领域的先进材料的发展
通过使用双光束干涉物镜实现高精度/高速的获取高度
高精度和测量重复*，BW-S500/BW-D500系列可以使用8nm或者8μm的由美国NIST（美国标准技术研究所）认证的VLSI台阶标准样进行校准和标定
详细介绍
表面轮廓仪
在2017年被日本光学协会授予光设计特别大奖，获奖原因是其在白光干涉的分辨率有飞跃*的*了定量测定。
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可实现精确的亚纳米表面轮廓非接触式测量。
尼康独有的扫描式光学干涉测量技术实现了1皮米(pm)的高度分辨率。尼康提供多种光学显微镜作为测量系统，以适应广泛的测量应用。
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测量精度&重复*
尼康BW系列产品具有很高的高度解析能力和重复测量精度，美国VLSI公司生产的8.9nm台阶是世界上目前被认证的最小高度标准样，其扩展不确定度为0.6nm，而尼康BW白光干涉仪经过十次测量结果全部在扩展不确定度范围内，且标准偏差为0.03nm。
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测定稳定*
表面轮廓仪光源的中心波长是随着时间不断变化的，尼康的BW系列白光干涉仪，由于算法与波长无关，测定的结果在任何时间点都可以保证一致*，保证了用户测量结果具备很高的重复*和再现*。
表面轮廓仪 
http://www.bjxzyq17.com/ParentList-1898369.html 
http://www.chem17.com/st413032/list_1898369.html