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电子元件 半导体薄膜沉积 PECVD沉积炉

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单价: 电询
品牌: SOTOR
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更新: 2019-04-25 10:09
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公司基本资料信息
 
 

石英管尺寸

Φ100*L1200mm

加热元件

电阻丝

测温元件

N型热电偶

加热区/恒温区

440mm/200mm

工作温度

≤1100℃

控温模式

PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制

控温精度

±1℃

电功率

AC220V/50HZ/3KW

质量供气系统

标准量程

50-500ml/min

压力表测量范围

-0.1Mpa~0.15Mpa

极限压力

3MPa

针阀

316不锈钢

电功率

AC220V/50HZ/20W

响应时间

气特*:1~4 Sec,电特*:10 Sec

重复精度

±0.2%

真空系统参数

工作电电压

220V±10%  50~60HZ

功率

400W

极限真空

4X10-1Pa

进/排气口口径

KF25

射频电源

信号频率

13.56 MHz±0.005%

功率输出范围

5W-500W

供电电压

单相交流(187V-253V) 频率50/60HZ

整机效率

>=70%

 

 

 

◇部分产品需要按需定制,生产周期约为5-10个工作日,客户收到产品需要约7-10工作日,默认顺丰或德邦物流,部分偏远地区请事先说明。

 

◇所有正常销售的产品,都提供正规*****,默认**抬头为订购合同客户方抬头,如需更改,请及时说明。

 

◇商品货值较高,在确认外观完好情况下,为保证收货安全需要凭收件人本人***签收。签收后开箱如果不符合三包规定的质量问题,执行3天包退7天包换政策。

 

  ◇江浙沪部分地区可提供免费上门安装调式服务,详细情况请联系业务员。

 

 

1、实验中心:提供免费实验服务(特殊材料实验除外),帮助客户了解电炉设备及实验物品的*能等参数。(新用户限免费实验2次,老用户终身免费)。

 

2、技术咨询:免费为客户提供电炉设备与实验材料相关的技术咨询、常规技术服务等,设备配件更换,仅收成本费。

 

3、非标订制:可根据实际客户需要订制炉膛尺寸,配置相应的对应规格配件。

 

 
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