BROOKS高温质量流量控制计9861系列

BROOKS高温质量流量控制计9861系列

布鲁克斯仪器 9861 系列高温热质量流量控制器和仪表专为在高温相关苛刻条件下输送可冷凝前体和掺杂剂设计，该产品采用高纯度、无泄漏一体化金属流路，可确保兼容所有过程气体和蒸汽。获得专利的 IsoSensor™ 是一种稳定性极高的流量传感器，可兼容加热气体管线和烘干系统中苛刻的环境温度。IsoSensor™ 传感器的超低漂移性能可使高温应用无需频繁重新调零和重新校准。

特点

超稳定的 IsoSensor™ 流量测量专利传感器

高纯度流路

远程控制电子元件（标配两个模拟电子连接器）

数字测量和控制架构

优势

传感器稳定性高，可保障超长运行时间、减少维护工作并降低总体拥有成本

全金属接液流路可确保气体/蒸汽完整性和纯度

包括 20 引脚卡缘连接器和 9/15 引脚“D”连接器，可实现标准化并减少库存

强化准确性和过程控制

应用

光纤制造 - MCVD

硅材料半导体器件加工工艺

Brooks Instrument是精密流体测量和控制技术的全球，能够实现的工艺性能，成立于1946年美国。是是ITW一个部门，ITW是的专业工业设备，消耗品和相关服务业的多元化制造商之一。主要产品包括：Brooks Instrument质量流量控制器、Brooks Instrument转子流量计、Brooks Instrument压力传感器、变送器、真空计、调节器、控制器等，广泛应用于重工业、油气精炼、和石化研究、制和生物制生产、太阳能电池、LED薄膜、光纤和半导体制造领域。

其他热销型号：

GILKES 泵 J50 TWGS S/N:800861/1B

GINO 电阻箱 3PP1336-0DZ-TG80013-002

GINO 制动电阻 BEGT2540-7R

GIVI MISURE 读头 MTV P1KC

GIVI MISURE 磁带 MP100

GIVI MISURE 光栅 NCS V20C 00920 05VS sn.09134896 05823 05343

GIVI MISURE 编码器 EN600 HR 05000 0528 D10 M0.5 LDC

GIVI MISURE 磁栅 MTS H1OC 528VL

GIVI MISURE 光栅尺 PBS-HR 5Z 470MM SN.1011284 11042 10258

GJC INSTRUMENTS 液体流量计 5025000